Ovaj instrument prihvata beskontaktnu interferometrijsku metodu merenja sa optičkim pomeranjem faze, ne oštećuje površinu obratka tokom merenja, može brzo da izmeri trodimenzionalnu grafiku mikrotopografije površine različitih obradaka i analizira i izračuna merenje rezultate.
Opis proizvoda
Karakteristike: Pogodno za mjerenje hrapavosti površine različitih mjernih blokova i optičkih dijelova; dubina konca lenjira i brojčanika; debljina prevlake strukture žljebova rešetke i morfologija strukture granice premaza; površina magnetnog (optičkog) diska i magnetna glava Merenje strukture; mjerenje hrapavosti površine silikonske pločice i strukture uzorka, itd.
Zbog visoke mjerne tačnosti instrumenta ima karakteristike beskontaktnog i trodimenzionalnog mjerenja, te usvaja kompjutersko upravljanje i brzu analizu i proračun rezultata mjerenja. Ovaj instrument je pogodan za sve nivoe ispitnih i mjernih istraživačkih jedinica, industrijskih i rudarskih mjernih prostorija, radionica za preciznu obradu, a pogodan je i za visokoškolske i naučnoistraživačke ustanove itd.
Glavni tehnički parametri
Mjerni opseg dubine mikroskopske neravnine površine
Na kontinuiranoj površini, kada nema nagle promjene visine veće od 1/4 valne dužine između dva susjedna piksela: 1000-1nm
Kada postoji mutacija visine veća od 1/4 talasne dužine između dva susedna piksela: 130-1nm
Ponovljivost mjerenja: δRa ≤0.5nm
Uvećanje objektiva: 40X
Numerički otvor blende: Φ 65
Radna udaljenost: 0,5 mm
Vidno polje instrumenta Vizuelno: Φ0,25 mm
Fotografija: 0,13×0,13 mm
Uvećanje instrumenta Vizuelno: 500×
Fotografija (posmatrano ekranom kompjutera)-2500×
Merni niz prijemnika: 1000X1000
Veličina piksela: 5,2×5,2µm
Vrijeme mjerenja vrijeme uzorkovanja (skeniranja): 1S
Standardna refleksivnost ogledala za instrumente (visoka): ~50%
Refleksija (niska): ~4%
Izvor rasvjete: žarulja sa žarnom niti 6V 5W
Talasna dužina zelenog filtera interferencije: λ≒530nm
Pola širine λ≒10nm
Podizanje glavnog mikroskopa: 110 mm
Podizanje stola: 5 mm
Opseg kretanja u smjeru X i Y: ~10 mm
Opseg rotacije radnog stola: 360°
Opseg nagiba radnog stola: ±6°
Računarski sistem: P4, 2.8G ili više, 17-inčni ekran ravnog ekrana sa 1G ili više memorije